HEPA filtresi

Yüksek-verimli hava filtreleri genellikle filtreleme uçları olarak kullanılır, dolayısıyla yüksek-verimli filtrelere yönelik gereksinimler de en sıkı olanlardır ve bunların fabrikada tek tek test edilmesi gerekir. Son olarak yüksek-verimli filtre, filtrenin her seviyedeki en kritik aşamasıdır ve ek "izleme" gerektirir. Yüksek-verimli filtrelerin ömrünü uzatmanın en temel yolu, tozun ön-filtreden çıkmasını engellemektir. Ön-filtrelemenin değiştirilmesi genellikle üretimin veya hizmete almanın durdurulmasına gerek duymaz, bu nedenle deneyimli sahipler ön-filtreye dikkat edecek ve para harcayacaktır. 10.000 ve 100.000 temiz atölye için. Ön-filtre F8 filtresini kullanabilir, dolayısıyla son{18}}verimlilik filtresinin hizmet ömrü genellikle beş yıla ulaşabilir. Yabancı projelerde ve yurt içi yeni projelerde, F8 filtresi, düzgün olmayan akışlı temiz odalar için en yaygın ön filtredir. Sınıf 100, Sınıf 10 veya üzeri bir çip fabrikasının temiz fabrikası için ön filtrenin ortak verimlilik düzeyi H10'dur ve birçok yeni proje yalnızca HEPA kullanır. Evsel temiz oda iklimlendirme sistemlerinin geçmişteki tasarımında, filtrelerin ortak konfigürasyonu şu şekildeydi: kaba etki, orta verimlilik ve yüksek verimlilik. O zamanlar yüksek verimliliğe sahip filtrelerin hizmet ömrü-yalnızca 1-3 yıldı ve en kötüsü yalnızca birkaç aydı. Ön filtrenin verimliliğinin son filtrenin servis ömrünü belirlediği görülmektedir.